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电子厂房净化工程中净化空调的改造与设计

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天津城市建设学院热能工程系    郭春梅  李岩

1  原有净化工程空调工程情况

1.1  简况

该厂房位于天津市开发区,建于1995年,主要生产半导体芯片。厂房共建三层,需改造项目位于二层,系统的平面布置如图1所示。系统总面积1510m2,  其中空调面积385m2,净化面积1125m2,净化级别除黄光室为千级外,其余均为万级。

1.2  系统存在的主要问题

(1)厂房内只对千级间黄光室设围护结构,

其余房间均为敞开式,净化区域与非净化区混合在一起,系统较为混乱,难以控制和调节,净化区域的洁净度不能达到要求;

(2)非净化区域的扩散炉,经测定表面温度可达50℃,散热量非常大,在原有设计中存在空调送风量不足问题,造成扩散炉周围区域的温度高达37℃,并且回风循环使用,不利于节能;

(3)酸洗槽的排风量不足,平均断面风速为0.1m/s,酸性物质存留在室内环境中,不能有效地排出,严重影响室内的卫生和生产环境;

(4)在厂房洁净室(区)入口处的风淋室风速为12m/s的要求,需要更换循环风机。

2  改造方案

针对系统运行中出现的的以上情况,经与甲方协商,提出了改造方案。

2.1  工艺布置改造方案

2.2  净化空调系统改造方案

3  改造后的使用效果

系统改造后经高度确保每个房间的风量、正压达到设计要求,在动态下检测,厂房的洁净度、温湿度、噪声、照度等各项指标均达到设计要求。

4  结论

本工程改造前主要特点表现在系统工艺布置不合理(未对净化区及非净化区时行明确划分)、混用净化及非净化区空调系统,不符合“规范”的要求;酸洗槽排风量不足;护散炉区因送风少及未设局排设施导致环境温度超标;改造后将生产工艺布局做了适当调整,按照规范的要求,对净化区及非净化区单独设置空调系统;加大酸洗槽排风量,同时采用了热排风回收装置,对补充新风进行预热(预冷),节约能源,降低运行费用。建议在今后的空调工程设计中,对于生产环境有要求的工艺,既应该按照生产过程布置工艺,同时还要考虑到有利于空调净化系统的调节和控制,保证生产环境的可靠性。