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净化车间的净化空调系统

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净化车间的净化空调系统

①将空气净化处理过程的功能分开,即将洁净室送入空气的净化、热湿处理分离,有利于降低能源消耗;

②有利于消除冷热抵消;③有利于强化对室外新鲜空气的处理,在微电子、光电子生产用洁净室(区)的送风中,不仅要求控制微粒、温度、相对湿度等,还要求去除影响产品质量或降低成品率化学污染物,如Na、SOx. NOx. Cl、B……等,这些污染物主要来自室外大气中,为此,这类十万级净化车间的净化空调系统需对室外吸入新鲜空气进行严格处理,常常可以采用淋水法去除大气中的SOx. NOx和CI;采用化学过滤器和活性炭过滤器,利用物理吸附和化学吸附的原理,将低浓度的化学污染物去除到规定的浓度要求。是某微电子工厂净化车间的新风处理装置示意图,采用了12个功能段--两级加热、两级表冷、两级淋水、四级过滤和一级加湿。

颈热盘管    预冷盘管(5)合理利用回风,净化车间净化空调系统的设计时,若能在满足工作人员必须的新鲜空气量的前提下将洁净室(区)的回风基本得到合理利用,是最佳的运行方式,这样可以大大降低新风处理所需加热、冷却用能量和输送用能量,是洁净室设计中最佳节能措施。所以“规范”规定除了三种情况不得回风外,其余均应合理利用回风。

在工艺生产过程不产生有害物时,净化空调系统在保证新鲜空气量和保持洁净室压差的条件下,为了节约能源,应尽量利用回风。而单向流洁净室的换气次数大,当机房距单向流洁净室较远时,可以使部分空气不回机房而直接循环使用。近年来一些高空气洁净等级的单向流洁净室日益广泛采用新风集中处理FFU净化空调系统,它是由多台风机过滤器单元设备组成实现洁净室回风的直接循环。